電 子 級 水
1 范圍
GB/T11446的本部分規定了電子級水的級別、技術指標要求、試驗方法和檢驗規則。
本部分適用于電子和半導體工業用高純清洗用水。
2 規范性引用文件
下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文 件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。 GB/T11446.3—2013 電子級水測試方法通則
GB/T11446.4—2013 電子級水電阻率的測試方法
GB/T11446.5—2013 電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法
GB/T11446.6—2013 電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法
GB/T11446.7—2013 電子級水中痕量陰離子的離子色譜測試方法
GB/T11446.8—2013 電子級水中總有機碳的測試方法
GB/T11446.9—2013 電子級水中微粒的儀器測試方法
GB/T11446.10—2013 電子級水細菌總數的濾膜培養測試方法
3 術語和定義
下列術語和定義適用于本文件。
3.1
電子級水 electronicgradewater
電子和半導體工藝過程中所用的高純水。
3.2
電阻率 resistivity
在規定溫度下,1cm3(正立方體)水溶液兩相對面之間測得的電阻值。通常用符號ρ表示,單位為 歐姆厘米(Ω·cm),純水的理論電阻率為18.3MΩ·cm (25 ℃)。
3.3
全硅 totalsilicon
水中可溶性硅和以二氧化硅膠體狀態存在的硅的總量。
3.4
可溶性硅 solublesilicon
以單一分子狀態存在于水中的溶解性硅酸鹽。
3.5
微粒性物質 granularmatter
除氣體以外,以非液態分散在水中,并形成非均相混合物的物質。
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GB/T11446.1—20133.6
總有機碳 totalorganiccarbon;TOC
水中以各種有機物形式存在的碳的總量。包括易被一般強氧化劑氧化的有機物和需用特殊方法氧 化的有機物。
3.7
吸附 absorption
某些多孔性粒狀物質由于表面活性作用而具有吸著某些物質的現象。
3.8
凝聚 coagulation
在源水中加入某種電解質后,水中帶有電荷的膠體微粒被電解質中的異種電荷中和,從而使其聚集 成較大顆粒而沉降的現象。
3.9
絮凝 flocculation
水中的微粒在一定條件下相互碰撞而集結為絮狀沉淀的現象。絮凝一般是在凝聚作用后緩慢進 行,可除去水中更細的微粒。
3.10
砂濾器 sandfilter
用于盛放不同直徑的砂粒,以除去源水中懸浮固體和混濁物的裝置。
3.11
活性碳過濾器 activatedcarbonfilter
裝有粒狀活性碳的過濾器,用于除去水中的可溶性有機物和過量的殘余氯。
3.12
離子交換 ionexchange
一種不溶性物質與一種液體之間相互交換離子的可逆過程,該過程中物質并無實質性結構變化。
3.13
離子交換樹脂 ion-exchangeresin
一種合成的有機離子交換材料。
3.14
去離子水 deionizedwater
經過離子交換處理,除去了呈離子形式的雜質的高純水。
3.15
再生 regeneration
離子交換過程操作循環中的一部分。在該部分中,用一定量的化學試劑通過離子交換樹脂使其恢 復交換能力。
3.16
復合床 complexbed
將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂分別裝入兩個離子交換柱中,將兩柱串聯,使水依次通過兩個 柱而被純化。
3.17
混合床 mixedbed
將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂混合均勻,填充于同一離子交換柱中,其純化效果相當于許多 復合床串聯使用。
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GB/T11446.1—20133.18
電滲析 electrodialysis
一種分離水中離子的方法。在電滲析器中,陰陽兩極之間用交替排列的陰、陽離子交換膜分隔成一 系列小室。水流通過小室時,在直流電場作用下,水中陽離子向陰極方向移動,但不能通過陽膜;陰離子 則相反。這樣就形成相間存在的濃、淡水室而達到提純水的目的。
3.19
逆向滲透 reverseosmosis
用半透膜將濃水和淡水隔開,并在濃水上施加比滲透壓更強的機械壓力,則濃水中大部分水透過半 透膜而雜質仍留在其中,達到分離提純的目的。
3.20
反滲透膜 reverseosmosismembrane
用于反滲透法制備純水的一種合成薄膜,其孔徑一般為0.02μm 或更小,可用于除去無機離子、有 機物、細菌等,使水純化。
3.21
微孔膜濾器 membranefilter
一種平均孔徑(直徑)大于0.01μm 的薄膜,能把大于平均孔徑的微粒截留在其表面或附近。
3.22
超過濾 ultrafiltration
一種過濾方法,在一定壓力下使水流通過超濾膜以除去水中的極細微粒、膠體和細菌等。
3.23
終端 terminal
高純水生產流程中經過各道凈化工藝后,水的出口或使用地點。
3.24
無菌 sterile
不含任何活有機體(不論是活躍的或休眠的)。
3.25
pH
水溶液中氫離子活度的負對數或氫氧根離子活度倒數的負對數。
4 分類和標記
4.1 分類
電子級水分為四個級別:Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級和Ⅳ級。
4.2 標記
Ⅰ級電子級水標記為:EW-Ⅰ。 Ⅱ級電子級水標記為:EW-Ⅱ。 Ⅲ級電子級水標記為:EW-Ⅲ。 Ⅳ級電子級水標記為:EW-Ⅳ。
5 要求
電子級水的技術指標應符合表1規定。
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GB/T11446.1—2013
表 1 電子級水的技術指標
項 目 技術指標
EW-Ⅰ EW-Ⅱ EW-Ⅲ EW-Ⅳ
電阻率(25 ℃)/MΩ·cm ≥18 (5%時間不低于17) ≥15 (5%時間不低于13) ≥12.0 ≥0.5
全硅/(μg/L) ≤2 ≤10 ≤50 ≤1000
微粒數/ (個/L) 0.05μm~0.1μm 0.1μm~0.2μm 0.2μm~0.3μm 0.3μm~0.5μm > 0.5μm 500 300 50 20 4 — — — — — — — — — — — — — — —
細菌個數/(個/mL) ≤0.01 ≤0.1 ≤10 ≤100
銅/(μg/L) ≤0.2 ≤1 ≤2 ≤500
鋅/(μg/L) ≤0.2 ≤1 ≤5 ≤500
鎳/(μg/L) ≤0.1 ≤1 ≤2 ≤500
鈉/(μg/L) ≤0.5 ≤2 ≤5 ≤1000
鉀/(μg/L) ≤0.5 ≤2 ≤5 ≤500
鐵/(μg/L) ≤0.1 — — —
鉛/(μg/L) ≤0.1 — — —
氟/(μg/L) ≤1 — — —
氯/(μg/L) ≤1 ≤1 ≤10 ≤1000
亞硝酸根/(μg/L) ≤1 — — —
溴/(μg/L) ≤1 — — —
硝酸根/(μg/L) ≤1 ≤1 ≤5 ≤500
磷酸根/(μg/L) ≤1 ≤1 ≤5 ≤500
硫酸根/(μg/L) ≤1 ≤1 ≤5 ≤500
總有機碳/(μg/L) ≤20 ≤100 ≤200 ≤1000
6 試驗方法
6.1 電阻率
電子級水的電阻率按 GB/T11446.4—2013進行測定。
6.2 全硅含量(以二氧化硅計)
電子級水全硅(以二氧化硅計)含量按 GB/T11446.6—2013進行測定。
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GB/T11446.1—20136.3 微粒數
電子級水中微粒數按 GB/T11446.9—2013進行測定。
6.4 細菌總數
電子級水中細菌總數按 GB/T11446.10—2013進行測定。
6.5 痕量金屬含量
電子級水中痕量金屬的含量按 GB/T11446.5—2013進行測定。
6.6 氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量
電子級水中氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量按
GB/T11446.7—2013進行測定。
6.7 總有機碳含量
電子級水中總有機碳含量按 GB/T11446.8—2013進行測定。
7 檢驗規則
7.1 檢驗部門
電子級水的檢驗均應在有資質的檢驗部門進行。
7.2 檢驗分類
電子級水的檢驗分為交收檢驗和例行檢驗。
7.3 交收檢驗
7.3.1 抽驗項目
電子級水中電阻率、鈉離子、全硅(以二氧化硅計)為交收檢驗項目。
7.3.2 合格判據
在用水終端采樣,檢驗后檢驗結果如有一項或一項以上不合格時,應再次采樣進行檢驗,如仍不合 格,則該批不合格,應提出改進措施直到水質合格。
7.4 例行檢驗(全檢項目)
7.4.1 檢驗項目
檢驗項目為表1規定的全部項目。檢驗順序應以不影響后序試驗結果的原則進行檢驗。
7.4.2 不合格判定
在用水終端采樣后進行例行檢驗,檢驗結果如有不合格項時,應再次采樣進行檢驗,如仍有不合格 項時,應提出改進措施直到水質合格。
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GB/T11446.1—20137.4.3 檢驗頻次
例行檢驗至少每年進行一次,當制水條件發生變更時也應進行例行檢驗。
8 采樣、貯存、運輸及標志
8.1 采樣、貯存、運輸
電子級水的采樣、貯存、運輸應符合 GB/T11446.3—2013的規定。
8.2 標志
在用水終端采樣進行檢驗時,水質合格后應附有檢驗合格證,合格證應包含如下內容: a) 名稱及級別; b) 各項技術指標; c) 制水單位; d) 供水日期; e) 檢驗員簽章及檢驗日期。
ruilonghuanbao@126.com
400-858-2822
13913722733
0512-69390999